精密陶瓷制造商
氮化鋁、氮化硅、可加工陶瓷專業(yè)生產(chǎn)加工企業(yè)
全國(guó)服務(wù)熱線
13412856568氮化鋁、氮化硅、可加工陶瓷專業(yè)生產(chǎn)加工企業(yè)
全國(guó)服務(wù)熱線
13412856568
| 產(chǎn)品名稱 | 半導(dǎo)體微晶玻璃陶瓷 |
| 加工精度 | 0.01mm |
| 是否定制 | 可按圖紙定制 |
| 粗糙度 | 0.05μm |
| 材料成分 | 微晶玻璃陶瓷 |
| 我要定制 | 按客戶需求接受定制;歡迎來(lái)廠參觀！ |
|
立即咨詢
0769-82913501 |
|
Zerodur（微晶玻璃陶瓷）在半導(dǎo)體中，主要憑借其“幾乎零熱膨脹系數(shù)”和“超高尺寸穩(wěn)定性”發(fā)揮關(guān)鍵作用：
光刻掩膜基板
用作高精度掩膜板空白基片，保證在紫外／極紫外曝光下不變形，從而實(shí)現(xiàn)納米級(jí)圖形轉(zhuǎn)移。
曝光系統(tǒng)光學(xué)元件
制作鏡筒內(nèi)的反射鏡、分束器、棱鏡等，維持光路穩(wěn)定、波面質(zhì)量高，確保圖形對(duì)準(zhǔn)和解析度。
干涉測(cè)量與對(duì)準(zhǔn)平臺(tái)
用于光刻機(jī)、掃描電子顯微鏡（SEM）中的位移臺(tái)和標(biāo)尺，保證測(cè)量系統(tǒng)在溫度波動(dòng)時(shí)仍保持亞納米級(jí)定位精度。
真空／超凈環(huán)境機(jī)械支架
在刻蝕、薄膜沉積等高真空設(shè)備里作為載具或支架，低析出、低揮發(fā)，不會(huì)引入雜質(zhì)污染。
晶圓處理夾具與載具
在高溫退火或溫度循環(huán)過(guò)程中，Zerodur支架可牢固支撐晶圓而不產(chǎn)生熱應(yīng)力，避免翹曲與裂紋。
聯(lián)系電話：134-128-56568
地址：東莞市松山湖園區(qū)怡樂(lè)路1號(hào)2棟306室
E-mail：xwj@jundro.com
掃一掃與廠家溝通
