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蝕刻、沉積和晶圓檢測設備中的Zerodur玻璃

文章出處:http://m.dearrdiary.com/news/891.html人氣：3時間：2025-05-06

Zerodur是一種鋰鋁硅酸鹽玻璃陶瓷，由德國肖特生產，熱膨脹系數跟于康寧UlE玻璃相當，（在0~50°C范圍內約為0±0.007×10^−6/K）在數個領域當中均有出色的表現，而今天我們將介紹Zerodur玻璃在光刻機、蝕刻、沉積和晶圓檢測設備中的出色應用

蝕刻設備中的應用

  • 大口徑的、高平整度的真空窗口、保證等離子體蝕刻過程中的穩定性
  • 晶圓支撐/載臺，利用Zerodur的低熱膨脹特性可抵制溫度梯度發生的翹曲
  • 光學準直鏡，通常使用于深刻蝕（DRIE）中

沉積設備中的應用

  • 光學窗口/視口，在高溫高真空下，能保持不變形和準確性
  • 基板加熱臺，使用Zerodur制作的加熱臺能均勻傳熱，幫助薄膜沉積獲得一致厚度
  • 反射偏轉鏡，用于激光輔助沉積

晶圓檢測設備中的應用

  • 干涉儀參考平板
  • 光學平臺承載鏡頭和傳感器的結構件
  • 激光測距與掃描裝置組件

Zerodur制造商選擇

我們是一家高品質技術陶瓷加工制造商，憑借專業的技術和先進的設備，提供卓越的服務。我們提供各種高精度Zerodur玻璃零件的定制加工，包括異形、圓形和曲面，并具備五軸精密加工能力。

  • 異形結構件：加工精度達0.01毫米
  • 管材和棒材：圓柱度達0.001毫米，尺寸精度達0.001毫米
  • 平面：結構件平面度精度高達0.001毫米，光學產品平面度精度高達1/20λ
  • 微孔結構：最小直徑0.1毫米，精度達0.01毫米
  • 粗糙度：結構件Ra0.01微米，光學產品Ra0.002微米

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