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沉積設備

蝕刻、沉積和晶圓檢測設備中的Zerodur玻璃

Zerodur是一種鋰鋁硅酸鹽玻璃陶瓷，由德國肖特生產，熱膨脹系數跟于康寧UlE玻璃相當，（在0~50°C范圍內約為0±0.007×10^−6/K）在數個領域當中均有出色的表現，而今天我們將介紹Zerodur玻璃在光刻機、蝕刻、沉積和

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