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      歡迎訪問(wèn)精密陶瓷生產(chǎn)加工商——東莞市鈞杰陶瓷科技有限公司
      
    	
    
      

      

      
    
      
            		                
        		    
        
      
            
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      氮化鋁導(dǎo)熱盤(pán)
      
     
      
	
      
	
      
    	
      
        	
        
							
            	
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        氮化鋁（AlN）導(dǎo)熱盤(pán)因其高熱導(dǎo)率、高電絕緣性和良好機(jī)械強(qiáng)度，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域

高效熱管理
晶圓加熱／冷卻盤(pán)
在化學(xué)氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）或退火爐中，AlN 導(dǎo)熱盤(pán)均勻傳導(dǎo)加熱器產(chǎn)生的熱量，保證爐內(nèi)溫度分布均勻，進(jìn)而提升薄膜均勻性與工藝重復(fù)性。
        
                    
        
                    
                
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